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2011年12月21日

ICチップ吸着ツール軸とチップ突き上げユニット軸と吸着真空ポートの1ms分解能同期

ICチップ吸着ツール軸とチップ突き上げユニット軸と吸着真空ポートの1ms分解能同期。

ウェハーからICチップをピックアップするとき、

ウェハーの下から、ピックアップしたいICチップを突き上げて

シートから剥離させて粘着力を落として、チップ吸着ツールで、

吸着する。

Image001

このとき、

・チップ吸着ツール軸

・チップ突き上げ軸

の距離間隔を保って、上昇する。

チップ突き上げ軸は、わずかに上昇して、降下する。

この動作に位相をずらして同期して、真空吸着ポートをオンする。

この3つ

・チップ吸着ツール軸

・チップ突き上げ軸

・真空吸着ポート

の制御、どのようにプログラムしていますか?

1ms以下の精度で、制御していますか?

■Link: 「高性能制御を簡単に、みんなに!」  

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